عملية تصنيع رقائق LED
الغرض الرئيسي من تصنيع شرائح LED هو تصنيع أقطاب كهربائية منخفضة الأوم فعالة وموثوقة يمكنها تلبية الحد الأدنى من انخفاض الجهد بين المواد القابلة للتلامس وتوفير وسادات ضغط لأسلاك الربط ، وفي نفس الوقت تلبية أكبر قدر ممكن من ناتج الضوء. العملية الرئيسية موضحة في الشكل 27-1
فحص المواد Epitaxy
تنظيف
طلاء
الليثوغرافيا الضوئية
سبيكة
التخزين
طَرد
يكشف
يقطع
تستخدم عملية الطلاء عمومًا طريقة التبخر بالفراغ ، والتي تستخدم أساسًا تسخين المقاومة أو طريقة تسخين شعاع الإلكترون تحت فراغ عالي يبلغ 1.33 * 10-4 باسكال لإذابة المادة تحت ضغط منخفض إلى بخار معدني وترسب على سطح مادة أشباه الموصلات. بشكل عام ، يتم استخدام النوع P. تشمل معادن التلامس الأكثر شيوعًا AuBe و AuZn وما إلى ذلك. غالبًا ما تستخدم معادن التلامس على الجانب N سبائك AuGeNi. المشكلة الأكثر شيوعًا في عملية الطلاء هي تنظيف سطح أشباه الموصلات قبل الطلاء. الطلاء ليس قويًا ، وتحتاج طبقة السبائك المتكونة بعد الطلاء إلى كشف أكبر قدر ممكن من منطقة انبعاث الضوء من خلال عملية الطباعة الحجرية الضوئية ، بحيث يمكن لطبقة السبائك المتبقية أن تلبي متطلبات أقطاب التلامس منخفضة أوم الفعالة والموثوقة وسادات ربط الأسلاك. الشكل الأكثر استخدامًا هو الدائرة. بالنسبة للظهر ، إذا كانت المادة شفافة ، فيجب أيضًا نقش دائرة.
بعد اكتمال عملية الطباعة الحجرية الضوئية ، يلزم إجراء عملية صناعة السبائك. تتم صناعة السبائك عادة تحت حماية H2 أو N2. عادة ما يعتمد وقت ودرجة حرارة صناعة السبائك على خصائص مادة أشباه الموصلات. تحدد عوامل مثل شكل فرن السبيكة ، عادة ما تكون درجة حرارة السبائك في مادة LED ذات اللون الأحمر والأصفر بين 350 درجة و 550 درجة. بعد صناعة السبائك الناجحة ، يكون المنحنى الرابع بين قطبين متجاورين على سطح أشباه الموصلات عادة في علاقة خطية. بالطبع ، إذا كانت الشريحة شبه الخضراء أكثر تعقيدًا في عملية القطب الكهربي ، فيجب زيادة نمو فيلم التخميل وعملية النقش بالبلازما.
طريقة القطع بالقالب LED باللونين الأحمر والأصفر مشابهة لعملية قطع قالب بسكويت الويفر السيليكوني. يشيع استخدام شفرات عجلة الماس. سمك الشفرة بشكل عام 25um. بالنسبة لعملية الرقاقة الزرقاء والخضراء ، نظرًا لأن مادة الركيزة هي Al2O3 ، يجب خدشها بسكين ماسي ثم كسرها.
يتضمن أساس الكشف عن رقاقة الصمام الثنائي الباعث للضوء عمومًا اختبار جهد التوصيل الأمامي ، وطول الموجة ، وشدة الضوء ، والخصائص العكسية.
تشتمل عبوات الرقائق النهائية بشكل عام على تغليف فيلم أبيض وتغليف أزرق. يتم توصيل حزمة الفيلم الأبيض بشكل عام بالفيلم بسطح الوسادة ، كما أن تباعد الشرائح كبير ومناسب للتشغيل اليدوي. يتم لصق عبوة الفيلم الأزرق بشكل عام على الفيلم الموجود على الظهر. تعد ملاعب الرقائق الأصغر مناسبة للأتمتة.
