ما هي الطباعة الضوئية؟
تعد الطباعة الحجرية الضوئية إحدى العمليات المهمة في إنتاج الدوائر المتكاملة (ICs أو الرقائق). ببساطة، إنها عملية نسخ نمط الدائرة على الركيزة باستخدام القناع الضوئي ومقاوم الضوء.
سيتم طلاء الركيزة على طبقة عازلة من ثاني أكسيد السيليكون ومقاوم للضوء. يمكن إذابة مقاوم الضوء بسهولة باستخدام مطور بعد تعرضه للأشعة فوق البنفسجية، وبعد الذوبان والحفر، سيتم ترك نمط الدائرة على الركيزة.
ما هو مقاوم الضوء؟ لماذا يجب حجب الطول الموجي للأشعة فوق البنفسجية بطول 500 نانومتر؟
يتم دمج مقاوم الضوء مع الراتنجات والمذيبات والمواد المضافة. النطاق الحساس للضوء لمقاوم الضوء هو 200 نانومتر-500 نانومتر. لذلك، ستعتمد العديد من مختبرات أشباه الموصلات الضوء الأصفر الذي يحجب الطول الموجي للأشعة فوق البنفسجية بمقدار 500 نانومتر لمنع تعرض مقاوم الضوء للضوء بشكل مفرط أو تعرضه قبل الأوان.
